高速壓電位移臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高速壓電位移臺(tái)：靜音運(yùn)動(dòng)；高運(yùn)動(dòng)速度；閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制；納米級(jí)分辨率。

產(chǎn)品型號(hào)：Speed系列

更新時(shí)間：2026-02-26

廠(chǎng)商性質(zhì)：生產(chǎn)廠(chǎng)家

訪(fǎng)問(wèn)量：139

產(chǎn)品咨詢(xún) 13810146393

產(chǎn)品分類(lèi)Product Categories

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“Speed系列"高速壓電位移臺(tái)——LS50x.Speed

產(chǎn)品特色

· 靜*運(yùn)動(dòng)

· 高運(yùn)動(dòng)速度

· 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制

· 納米級(jí)分辨率

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1	可選版本	.NM，絕**磁版本； .HV，高真空版本； .UHV，超高真空版本；
2	外形尺寸	50 × 50 × 14 mm
3	主體材料	標(biāo)準(zhǔn)版鋁合金，鋼：120 g；.HV/.UHV：鈦，鋼：150 g；.NM 鈦，陶瓷：130 g
4	運(yùn)動(dòng)行程	24 mm
5	速度范圍	默認(rèn)：5 mm/s ~ 200 mm/s ；.HV & .UHV 版本：5 mm/s ~ 20 mm/s
6	驅(qū)動(dòng)力	2 N
7	保持力	3 N
8	水平方向使用*大負(fù)載	2 kg
9	豎直方向使用*大負(fù)載	100 g
10	雙向重復(fù)定位精度	± 250 nm
11	全行程俯仰/偏擺	0.3 mrad
12	最小步伐(開(kāi)環(huán))	50 nm
13	位置傳感器類(lèi)型	光學(xué)位置傳感器
14	位置傳感器分辨率	2 nm
15	線(xiàn)纜 & 接頭	默認(rèn)：屏蔽線(xiàn)纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線(xiàn)，D-Sub15 (PEEK)
16	控制器規(guī)格	MC-Doppler系列

“Speed系列"線(xiàn)性位移臺(tái)——LS65x.Speed

產(chǎn)品特色

· 靜*運(yùn)動(dòng)

· 高運(yùn)動(dòng)速度

· 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制

· 納米級(jí)分辨率

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1	可選版本	.NM，絕**磁版本； .HV，高真空版本； .UHV，超高真空版本；
2	外形尺寸	65 × 65 × 15 mm
3	主體材料	標(biāo)準(zhǔn)版鋁合金，鋼：200 g；.HV/.UHV：鈦，鋼：270 g；.NM 鈦，陶瓷：240 g
4	運(yùn)動(dòng)行程	30 mm
5	速度范圍	默認(rèn)：5 mm/s ~ 200 mm/s ；.HV & .UHV 版本：5 mm/s ~ 20 mm/s
6	驅(qū)動(dòng)力	3 N
7	保持力	4 N
8	水平方向使用*大負(fù)載	3 kg
9	豎直方向使用*大負(fù)載	150 g
10	雙向重復(fù)定位精度	± 250 nm
11	全行程俯仰/偏擺	0.3 mrad
12	最小步伐(開(kāi)環(huán))	50 nm
13	位置傳感器類(lèi)型	光學(xué)位置傳感器
14	位置傳感器分辨率	2 nm
15	線(xiàn)纜 & 接頭	默認(rèn)：屏蔽線(xiàn)纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線(xiàn)，D-Sub15 (PEEK)
16	控制器規(guī)格	MC-Doppler系列

“Speed系列"線(xiàn)性位移臺(tái)——LS105x.Speed

產(chǎn)品特色

· 靜*運(yùn)動(dòng)

· 高運(yùn)動(dòng)速度

· 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制

· 納米級(jí)分辨率

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1	可選版本	.NM，絕**磁版本； .HV，高真空版本； .UHV，超高真空版本；
2	外形尺寸	105 × 105 × 20 mm
3	主體材料	標(biāo)準(zhǔn)版鋁合金，鋼：660 g；.HV/.UHV：鈦，鋼：960 g；.NM 鈦，陶瓷：910 g
4	運(yùn)動(dòng)行程	60 mm
5	速度范圍	默認(rèn)：5 mm/s ~ 200 mm/s ；.HV & .UHV 版本：5 mm/s ~ 20 mm/s
6	驅(qū)動(dòng)力	4 N
7	保持力	5 N
8	水平方向使用*大負(fù)載	5 kg
10	雙向重復(fù)定位精度	± 250 nm
11	全行程俯仰/偏擺	0.2 mrad
12	最小步伐(開(kāi)環(huán))	50 nm
13	位置傳感器類(lèi)型	光學(xué)位置傳感器
14	位置傳感器分辨率	2 nm
15	線(xiàn)纜 & 接頭	默認(rèn)：屏蔽線(xiàn)纜D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包線(xiàn)，D-Sub15 (PEEK)
16	控制器規(guī)格	MC-Doppler系列

“Speed系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái) — RS65.Speed

產(chǎn)品特色

· 高扭矩

· 高轉(zhuǎn)速

· 閉環(huán)控制，內(nèi)置光柵位置傳感器

· 空間緊湊

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1	可選版本	.NM，絕**磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本
2	外形尺寸	65 × 65 × 25 mm
3	主體材料	標(biāo)準(zhǔn)版 /.NM 鋁合金：330 g；.HV/.UHV 鈦合金：360 g
4	運(yùn)動(dòng)行程	360°
5	速度范圍	默認(rèn)：60 °/s ~ 720 °/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 60 °/s
6	*大負(fù)載	2 kg
7	額定力矩	0.5 N·m
8	*大力矩	0.8 N·m
9	保持力矩	0.8 N·m
10	最小步伐	15 μrad
11	位置傳感器類(lèi)型	光學(xué)位置傳感器
12	位置傳感器分辨率	1 μrad
13	線(xiàn)纜 & 接頭	默認(rèn)：屏蔽線(xiàn)纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線(xiàn)，D–Sub15 (PEEK)
14	控制器規(guī)格	MC–Doppler 系列

“Speed系列"旋轉(zhuǎn)位移臺(tái) — RS105.Speed

產(chǎn)品特色

· 高扭矩

· 高轉(zhuǎn)速

· 閉環(huán)控制，內(nèi)置光柵位置傳感器

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1	可選版本	.NM，絕**磁版本；.HV，高真空版本；.UHV，超高真空版本
2	外形尺寸	105 × 135 × 23 mm
3	主體材料	標(biāo)準(zhǔn)版 /.NM 鋁合金：800 g；.HV/.UHV 鈦合金：1 kg
4	運(yùn)動(dòng)行程	360°
5	速度范圍	默認(rèn)：1.3 °/s ~ 360 °/s；.HV & .UHV 版本：推薦使用 36 °/s
6	*大負(fù)載	5 kg
7	額定力矩	0.4 N·m
8	*大力矩	0.6 N·m
9	保持力矩	0.6 N·m
10	最小步伐	0.75 μrad
11	位置傳感器類(lèi)型	光學(xué)位置傳感器
12	位置傳感器分辨率	1 μrad
13	線(xiàn)纜 & 接頭	默認(rèn)：屏蔽線(xiàn)纜 D–Sub15；.UHV 版本：Kapton 漆包線(xiàn)，D–Sub15 (PEEK)
14	控制器規(guī)格	MC–Doppler 系列