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VarioBasic 系列主動隔振光學(xué)平臺
產(chǎn)品概述
歐庫睿因主動式隔振技術(shù)，高精度設(shè)備的*美展現(xiàn)！
自從高分辨率測量和制造技術(shù)達(dá)到納米尺度以來，振動就一直是一個重要問題。有效消除振動干擾是獲得精確和可重復(fù)測量結(jié)果的關(guān)鍵。解決方法是將儀器與振動源隔離開來。典型的振動來源可能是：
· 建筑物和地面的振動(垂直：5-30 Hz, 水平：0.5-10 Hz)
· 聲學(xué)振動(>20 Hz)
· 機(jī)動設(shè)備和機(jī)器(10-500 Hz)
主動隔振的基本原理是通過產(chǎn)生反作用力對干擾振動進(jìn)行主動補償。
精選范例
歐庫睿因主動隔振系統(tǒng)的工作原理
應(yīng)用設(shè)備和承載臺面由彈簧支撐。其目的是實現(xiàn)主動隔振所需的浮動狀態(tài)。承載臺面可以向各個方向移動。在工作狀態(tài)中，桌面上的應(yīng)用設(shè)備與環(huán)境振動隔離。
振動由極其靈敏的壓電式加速度計檢測。傳感器輸出信號由控制電路進(jìn)行分析和處理，控制電路驅(qū)動電動執(zhí)行器，電動執(zhí)行器實時產(chǎn)生對抗振動的反作用力。主動隔振在6個自由度內(nèi)有效。
主要特征
■ 相比于氣浮式隔振臺，主動隔振臺沒有低頻共振，即使在低頻范圍內(nèi)也有出色的隔振性能。
■ 超快的穩(wěn)定時間：低至0.3秒(普通被動隔振臺的 穩(wěn)定時間為30秒至60秒)。
■ 主動隔振臺帶寬0.6/1Hz 至200Hz (遠(yuǎn)超被動隔振臺)。
■ 6個自由度主動隔振。
■ 真正的主動隔振：及時產(chǎn)生反作用力來抵消振動。
■ 操作簡單-按鈕式解決方案。
■ 設(shè)計緊湊，安裝簡便。
■ 高度的位置穩(wěn)定性-1Hz時固有剛度通常是被動隔振臺的20到30倍。
■ 接電即可，無需壓縮空氣。
■ 適用于將高分辨率測量設(shè)備與建筑振動隔離。
■ 廣泛的適用范圍：擁有標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品和用戶定制產(chǎn)品。
VarioBasic 40搭配成像橢偏儀
i4 Large搭配3D輪廓儀
VarioBasic 系列主動隔振光學(xué)平臺
兩個或四個模塊化手動負(fù)載調(diào)節(jié)隔振元件和控制器，適用于大負(fù)載場景安裝在臺面下方或設(shè)備下方，用于消除低頻震動。
Vario Basic 40 | Vario Basic 60 | Vario Basic 90 | |
模組尺寸 | 396x120x111mm | 636x130x111mm | 932x130x111mm |
載 重 | 0-300kg,0-600kg | 0-300kg,0-600kg | 0-300kg,0-600kg |
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