DVIA主動隔振光學(xué)平臺具有非常的隔振性能，特別是在低頻0.5Hz- 10Hz達到90%以上的隔振效率，采用慣性傳感器，可以檢測出六個自由度的振動并做補償，采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺面，厚度可選100/200/300mm

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更新時間：2024-05-20

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DVIA主動隔振光學(xué)平臺

DVIA-MB，專門為SEM和TEM顯微鏡設(shè)計主動隔振平臺

DVIA主動隔振光學(xué)平臺特點：

具有非常的隔振性能，特別是在低頻0.5Hz- 10Hz達到90%以上的隔振效率

采用慣性傳感器，可以檢測出六個自由度的振動并做補償

采用真蜂窩三層夾心式結(jié)構(gòu)臺面，厚度可選100/200/300mm

進口精密主動隔振光學(xué)平臺

隔振性能優(yōu)異,廣泛應(yīng)用于掃描探針顯微鏡,原子力顯微鏡，掃面隧道顯微鏡，激光干涉儀 ,半導(dǎo)體檢測設(shè)備，三維形貌分析儀和激光共聚焦顯微鏡等。

技術(shù)指標(biāo):

固有頻率：0.5-100Hz

自動平衡，響應(yīng)時間短，平衡速度快

鋼蜂巢內(nèi)核：鋼制蜂窩芯，鋼板厚度0.25mm,每個蜂巢面積3.2cm²

表面平整度：±0.1mm /600 mm²

臺面：4.0mm厚度430 系列高導(dǎo)磁鎳合不銹鋼

底面：4.0mm厚碳鋼，表面氧化處理

邊墻板：2.0mm厚碳鋼，包裹高阻尼聚乙烯材料

孔徑： M6 (英制螺孔可選)

孔距：25mmX25mm(英制孔距可選)，zui外邊孔距平臺邊緣37.5mm

螺孔密封：每個螺紋孔下方設(shè)有柱形隔離杯密封，方便清潔

阻尼隔振方式：寬帶阻尼

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